Metoda izhlapevanja z elektronskim žarkom je nekakšen premaz z vakuumskim izhlapevanjem, ki uporablja elektronske žarke za neposredno segrevanje materiala za izhlapevanje v vakuumskih pogojih, uparjanje materiala za izhlapevanje in transport do substrata ter kondenzacija na substratu, da se tvori tanek film.V napravi za ogrevanje z elektronskim žarkom se segreta snov postavi v vodno hlajeni lonček, ki lahko prepreči reakcijo med materialom za izhlapevanje in steno lončka ter vpliva na kakovost filma.V napravo je mogoče namestiti več lončkov, da dosežemo sočasno ali ločeno izparevanje in odlaganje različnih snovi.Z izparevanjem z elektronskim žarkom je mogoče izhlapeti kateri koli material.
Izhlapevanje z elektronskim žarkom lahko izhlapi materiale z visokim tališčem.V primerjavi s splošnim izhlapevanjem z uporovnim segrevanjem ima večjo toplotno učinkovitost, večjo gostoto žarkovnega toka in večjo hitrost izhlapevanja.Film in film iz različnih optičnih materialov, kot je prevodno steklo.
Značilnost izhlapevanja z elektronskim žarkom je, da ne pokrije ali le redko pokrije obe strani ciljne tridimenzionalne strukture in se običajno le odloži na površini cilja.To je razlika med izparevanjem z elektronskim žarkom in razprševanjem.
Izhlapevanje z elektronskim žarkom se običajno uporablja na področju raziskav in industrije polprevodnikov.Energija pospešenega elektrona se uporabi za udarec v materialno tarčo, kar povzroči, da materialna tarča izhlapi in se dvigne.Na koncu odložen na tarčo.
Čas objave: 2. december 2022