Kako deluje magnetronsko razprševanje?
Magnetronsko razprševanje je metoda fizičnega naparjevanja (PVD), razred postopkov vakuumskega nanašanja za izdelavo tankih filmov in prevlek.
Ime "magnetronsko razprševanje" izhaja iz uporabe magnetnih polj za nadzor obnašanja nabitih ionskih delcev v procesu magnetronskega razprševanja.Postopek zahteva visokovakuumsko komoro za ustvarjanje nizkotlačnega okolja za brizganje.Plin, ki sestavlja plazmo, običajno plin argon, vstopi v komoro prvi.
Med katodo in anodo se uporabi visoka negativna napetost, da se sproži ionizacija inertnega plina.Pozitivni ioni argona iz plazme trčijo v negativno nabit ciljni material.Vsak trk visokoenergijskih delcev lahko povzroči, da se atomi s ciljne površine izvržejo v vakuumsko okolje in poženejo na površino substrata.
Močno magnetno polje povzroči visoko gostoto plazme z omejevanjem elektronov blizu ciljne površine, s čimer poveča hitrost odlaganja in prepreči poškodbe podlage zaradi ionskega bombardiranja.Večina materialov lahko deluje kot tarča za postopek razprševanja, saj sistem magnetronskega razprševanja ne zahteva taljenja ali izhlapevanja izvornega materiala.
Parametri izdelka
Ime izdelkov | Tarča iz čistega titana |
Ocena | Gr1 |
Čistost | Več 99,7 % |
Gostota | 4,5 g/cm3 |
MOQ | 5 kosov |
Hot sale velikost | Φ95*40 mm Φ98*45 mm Φ100*40 mm Φ128*45 mm |
Aplikacija | Premaz za PVD stroj |
Velikost zaloge | Φ98*45 mm Φ100*40 mm |
Drugi razpoložljivi cilji | molibden (Mo) Krom (Cr) TiAl Baker (Cu) Cirkonij (Zr) |
Aplikacija
■Prevleka integriranih vezij.
■Površinski zasloni ravnih plošč in drugih komponent.
■Dekoracija in prevleka stekla itd.
Katere izdelke lahko proizvedemo
■Ravna tarča iz titana visoke čistosti (99,9 %, 99,95 %, 99,99 %)
■Standardna navojna povezava za enostavno namestitev (M90, M80)
■Samostojna izdelava, dostopna cena (kakovost obvladljiva)
Informacije o naročilu
Povpraševanja in naročila morajo vsebovati naslednje podatke:
■ Premer, višina (kot je Φ100 * 40 mm).
■ Velikost navoja (kot je M90 * 2 mm).
■ Količina.
■ Zahteva po čistosti.