Kovinska rotacijska tarča
Med tarčo za razprševanje (katodo) in anodo delujeta pravokotna magnetna in električna polja.In napolnite potreben inertni plin (običajno plin Ar) v visokovakuumsko komoro.Pod delovanjem električnega polja se plin Ar ionizira v pozitivne ione in elektrone.Na tarčo se uporabi določena negativna visoka napetost, magnetno polje vpliva na elektrone, ki jih oddaja tarča, poveča se verjetnost ionizacije delovnega plina, v bližini katode se tvori plazma z visoko gostoto in vpliva na ione Ar z Lorentzovo silo.Nato pospešite, da poletite do ciljne površine, in z visoko hitrostjo bombardirajte ciljno površino, tako da razpršeni atomi na tarči sledijo načelu pretvorbe zagona, odletijo od ciljne površine do podlage in odložijo film z visoko kinetično energijo.
Da bi še izboljšali stopnjo izkoriščenosti tarčnega materiala, je zasnovana rotacijska katoda z večjo učinkovitostjo uporabe, cevasti tarčni material pa se uporablja za brizgalno prevleko.Izboljšanje opreme za razprševanje zahteva spremembo tarče iz ravne oblike v cevasto obliko, stopnja izkoriščenosti cevaste vrtljive tarče pa je lahko celo do 70 %, kar v veliki meri reši problem nizke izkoriščenosti ravne tarče.
Ime izdelkov | Kovinska rotacijska tarča |
Material | W, Mo, Ta, Ni, Ti, Zr, Cr, TiAl |
Hot sale velikost | ID-133/ OD-157x 3191 mm ID-133/OD-157 X 3855 mm ID-160/OD-180x1800mm Lahko se tudi obdela v skladu s posebnimi zahtevami strank |
MOQ | 3 kosi |
Paket | Ply leseno ohišje |
Aplikacija
Prevleka z brizganjem je nova vrsta metode nanašanja s fizično paro.V primerjavi z metodo nanašanja z izhlapevanjem ima očitne prednosti
v mnogih pogledih.Kovinske tarče za razprševanje so bile uporabljene na številnih področjih.Glavna uporaba vrtljive tarče.
■Sončne celice
■Arhitekturno steklo
■Avto steklo
■Polprevodnik
■TV z ravnim zaslonom itd
Informacije o naročilu
Povpraševanja in naročila morajo vsebovati naslednje podatke:
☑Ciljna specifikacija ID×OD×L (mm).
☑Zahtevana količina.
☑Prosimo, kontaktirajte nas za več posebnih potreb.